PCG400和PCG410型皮拉尼電容膜片真空計
皮拉尼電容膜片真空計是個將陶瓷電容膜片真空計與皮拉尼組合在一起的小型真空計。
技術(shù)參數(shù):
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 100%的全量程。
測量精度:全量程的1%
靈敏度:全量程的0.1%
熱機時間:小于2Min.
響應(yīng)速度:小于2Sec.
輸入電壓:±15VDC@100ma
輸出電壓:0-5VDC
連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字:RS485或Device net或Profibus
法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
測量范圍在100毫巴(75乇)與大氣壓之間,在此范圍內(nèi),皮拉尼靈敏度下降,而電容膜片技術(shù)提供***的,與氣體類型和流量無關(guān)的高至1500毫巴(1125乇)的測量。
陶INF瓷電容膜片技術(shù)于一個功能性強的、節(jié)省空間的真空計中。
INFICON皮拉尼電容膜片真空計組合皮拉尼與CDG技術(shù),用于在100與1500毫巴(75與1125乇)之間快速,***,與氣體類型無關(guān)的壓強測量??商峁﹥蓚€內(nèi)置繼電器,PCG免除了對1/2大氣壓或其它昂貴開關(guān)的需要。為簡化工藝集成,皮拉尼與CDG訊號組合在一個對數(shù)/線性的模擬輸出中,跨越真空計的整個量程。
在100毫ICON PCG組合***的雙皮拉尼傳感器和與氣體類型無關(guān)的
巴(75乇)與大氣壓之間的測量范圍中,熱導型真空計(如皮拉尼和對流增強型皮拉尼)的靈敏度下降,出現(xiàn)與氣體類型有關(guān)的非線性現(xiàn)象,而電容膜片技術(shù)則提供***的與氣體類型無關(guān)的高至1500毫巴(1125乇)的測量值。
INFICON PCG在大氣壓下讀值精度達到±2.5%,用于***的,可重復的壓強測量,這個特性是標準的皮拉尼所不具備的。
復合型真空計的特點
任意方向安裝
放空快速響應(yīng),縮短周期時間
快速與可靠的讀值,無需大氣壓調(diào)節(jié)
單一對數(shù)/線性模擬輸出訊號,易于工藝集成
小型結(jié)構(gòu),節(jié)省有價值的工藝空
應(yīng)用
自鎖
前級壓強監(jiān)測
真空系統(tǒng)中的安全電路
在中真空和粗真空范圍內(nèi)一般測量與控制
控制高真空電離真空計


